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一.产品简介HUE-G2631是哈尔滨工业大学、博鱼官网下载(中国)集团股份有限公司联合开发的新一代大型/超大型气浮隔微振装置。本产品是超大型基础性平台设备,可用于大型/超大型精密仪器及系统、光学仪器及系统、超精密制造装备和工作