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一.产品简介VS部件实现调整光刻机光学系统中的光源现场尺寸以及视场内光强的均匀性。要求刀片扫描运动与掩膜台扫描运动同步。二.设计原则模块化设计原则:根据功能分解,确定模块结构,集成化设计