非线性误差 优于±2nm
最大光束直径:9mm
输出效率:≥5%(三轴总和)
测量点公差:平均值±0.15mm,偏差值±1mm
角度容差:±1.5mrad
光束平行度:<50μrad (单轴测量光与参考光之间)
产品手册
视频展示
一.产品简介
DP03-P是由哈尔滨工业大学研制、博鱼官网下载(中国)集团股份有限公司开发的高 精度三轴激光干涉镜组。DP03-P镜组具有三个测量轴,可对被测目标进行多自由度位移同 步测量,以进一步解算其偏摆角度,适合超精密多自由度的测量应用。
二.DP03-P 型三轴激光干涉镜组技术规格
测量特性 | 分辨力 | λ/4(光学四细分) |
热漂移系数 | ≤40 nm/K | |
非线性误差 | 优于±2nm | |
光机特性 | 最大光束直径 | 9mm |
输出效率 | ≥5%(三轴总和) | |
测量点公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
角度容差 | ±1.5mrad | |
光束平行度 | <50μrad (单轴测量光与参考光之间) | |
工作环境 | 温度范围 | 18℃-25℃ (推荐值 20±1℃,30 min 内变化≤±0.1℃) |
相对湿度 | 30% - 60% | |
物理特性 | 尺寸 | 134mmX91mmX73mm (包含殷钢保护壳) |
重量 | 3 kg | |
共振频率 | >1kHz |
三.DP03-P型三轴激光干涉镜组机械尺寸
DP03-P-L1型三轴激光干涉镜组典型尺寸
DP03-P-L2型三轴激光干涉镜组典型尺寸
(图中尺寸只做位置说明,不用于生产加工)
可根据实际测量需求定制干涉镜组。
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