厦门超精密气浮转台定制

超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的圆柱度仪导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座圆柱度仪的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。

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HUE--E1231是哈尔滨工业大学、博鱼官网下载（中国）集团股份有限公司联合开发的新一代高精度二维转台。10项中国发明专利技术授权国家科技重大专项推介产品在北京空间机电研究所(508所)、沈阳航空发动机研究所等单位应用HUE--E1231型高精度二维转台核心技术指标均通过中国国家量仪产品质量监督检验中心检测。两轴空间垂直度优于5秒;角回转误差优于1秒;角定位误差优于1秒;HUE--E1231特征与优势高精度和大承载 采用静压气浮支撑技术作为回转轴系，转台轴系回转误差小，承载可高达数十吨。

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先进控制策略 高精度二维转台采用无刷直流电机驱动;结合高精度码盘构成位置闭环伺服系统，角位置定位精度可优于1角秒;并配有高稳定性数显系统本土化产品快速供应!产品核心技术和部件均来自国内，3~4个月施工完成并调试结束，无需历经严苛复杂的进出口安全与商务审批过程!专家级成套解决方案!依托本公司超精密仪器与装备工程专家团队，可提供超精密转台定制解决方案!

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基本原理：在传统牛顿流体的雷诺方程基础上，将惠普尔理论与压力对数分布假设相结合，对传统气体润滑理论进行修正和完善。建立基于动静压复合的超精密气浮回转基准(CTGB)的归一化解析模型，在以刚度为目标函数的前提下，对结构参数进行全局优化，从而得到基于动静压复合的超精密气浮回转基准的结构参数。科学意义及应用价值：对超精密气浮回转基准中动静压之间的耦合规律进行建模。解析表述了动静压之间的压力耦合、结构耦合以及压力与结构之间的交叉耦合。该技术大幅度提高了气浮回转基准的刚度、承载能力和抗扰动能力，提高了气浮回转基准的综合性能。实验表明：与传统气浮回转基准(STGB)相比，承载能力提高4倍以上，刚度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲线对比见Fig.1-3。

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研究目的：研究一种多点并行曝光、且曝光面上各曝光点曝光可控及曝光强度宏微双重可调的高分辨力的激光直接写入新技术，以解决传统激光直写单点曝光制作效率低的问题，提高微阵列和微结构光学器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直写的基本思想是以微光学镜阵列作为直写物镜，将写入激光分别聚焦为多个高分辨力写入光斑，以分散直写任务;利用数字微镜DMD控制各子光斑是否曝光，并采用声光调制器进行宏微双重调制写入光强。